Основы туннельно-зондовой нанотехнологии
Неволин В. К.
От издательства:Прогресс в микроэлектронике связывают с уменьшением линейных размеров функциональных элементов. Если размеры этих элементов достигают порядка нанометра, то существенными становятся квантовые эффекты, принципиально меняющие физику явлений, лежащих в основе работы приборов. Создание таких элементов и интегральных квантовых схем на их основе является предметом нанотехнологии.В пособии изложены физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельных микроскопов, показаны основные достижения, обсуждаются проблемы, требующие решения.
Категорії:
Рік:
1996
Видавництво:
МГИЭТ (ТУ)
Мова:
russian
Сторінки:
91
ISBN 10:
5725601072
ISBN 13:
9785725601077
Файл:
DJVU, 1.03 MB
IPFS:
,
russian, 1996